壓力傳感[Gan]器是工業實踐中[Zhong]常用的一種傳感器,一般普通壓力傳感(Gan)器[Qi]的輸出為[Wei]模拟(Ni)信号,或在一段連續的時間間[Jian]隔内,輸出為數字信号,而通常(Chang)使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應制[Zhi]造(Zao)而(Er)成的,這樣的傳感器也稱為壓電傳感器
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我們在[Zai]選擇壓力(Li)傳感器[Qi]的時候我們要考慮[Lü]他[Ta]的綜合精度,而哪些因[Yin]素會造[Zao]成壓力傳感器精度的誤差呢[Ne]?其實造成傳[Chuan]感器誤差[Cha]的因素(Su)有很多,下[Xia]面我們注意說四個(Ge)無法避免的誤[Wu]差,這是傳感器[Qi]的初始誤差。1.線(Xian)性誤差
這是一(Yi)個對壓力傳感器初始誤(Wu)差影響較小的因[Yin]素,該誤差的産生[Sheng]原因在[Zai]于矽片的物理非線性,但對于帶放大器的傳(Chuan)感器,還應包括放[Fang]大器[Qi]的非(Fei)線性。線性誤差曲線可以(Yi)是凹形曲線,也(Ye)可以是凸形曲線稱重傳感器。
2.偏移量誤差
由于壓力傳感器[Qi]在整個壓力範[Fan]圍内(Nei)垂直偏移保持恒定(Ding),因此變換器擴散和(He)激光調節修正的變化[Hua]将産生[Sheng]偏移量誤差。
3.靈敏度誤差
産生(Sheng)誤差大小與壓力成正比。如果設備的靈敏度(Du)高于[Yu]典型值,靈敏度誤差将是(Shi)壓力的遞增函數,如果靈敏度低[Di]于典型值,那[Na]麼靈敏度誤[Wu]差[Cha]将是壓力的遞減函數。該誤差的産生原因在于擴散過程的(De)變化。
4.滞後誤(Wu)差
在大多數情形中,壓力傳感器(Qi)的滞[Zhi]後誤差完全可[Ke]以忽略不計,因為矽(Xi)片(Pian)具有很高的[De]機械剛度,一般隻需[Xu]在壓[Ya]力變化很大的情形[Xing]中考[Kao]慮滞後誤差。
壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的,我們(Men)隻能選擇高精度的生産設備,利用高[Gao]新技[Ji]術來降低這些誤差(Cha),還可以在出(Chu)廠的時候進行一點的[De]誤(Wu)差校準,盡大的可[Ke]能來降低誤差(Cha)以滿[Man]足客戶的需要。